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镀膜真空室的空气预加热排气工艺有哪些特点-广东振华真空镀膜设备

镀膜真空室的空气预加热排气工艺的主要特点是:

在常压的空气中加热时,利用空气分子的传热作用,使绝热材料和吸附剂能够很快地升温到50°C,并且温度分布均匀,使抽气时加热效率有所提高。

抽气前材料温度提高后,绝热材料表面和吸附剂吸附的水蒸气量稍有降低。

从抽气一开始就能充分发挥加热的作用,即提高温度加速了绝热材料和吸附剂的放气过程,流导增加10%,“渗透抽气“能力也增大了。

镀膜真空室的空气预加热排气工艺比抽空加热排气工艺所需的抽气时间要短,吸附剂的再活化要好,返流的影响也减少了。因此,它已逐渐取代抽空加热排气工艺,成为低温容器的主要排气方法。

镀膜真空室的空气预加热排气工艺的主要不足之处是,因空气中含有21%的氧以及水蒸气和少量的有害气体及杂质,在空气中加热如温度过高会使反射屏(铝)污染和氧化,影响屏的发射率,绝热效果降低。因此,加热温度在50°C左右,最高不超过100°C。如果容器允许的除气温度超过100°C,则在抽气的情况下需继续升温,此时加热效率低的问题仍旧存在。尽管加速了水蒸气的脱附和抽出,但并没能从根本上解决水蒸气不易抽出的问题,而且吸附剂仍不能很快再活化,返流的影响也依然存在。