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真空设备的气体热冲洗和间断排气工艺介绍-广东振华真空镀膜设备

为了解决空气预加热排气工艺存在的不足,又研究出了真空设备的气体热冲洗和间断排气工艺。气体热冲洗和间断排气工艺的特点是,真空设备抽真空前先采用气体热冲洗工艺进行预处理。抽真空过程中再采用间断的排气工艺。

真空设备的气体热冲洗的目的主要是利用易脱附的无害干燥气体多次充入真空室内,去置换出不易脱附的水蒸气和空间内有害气体氧等,使真空室在抽空前,空间的和材料表面吸附的及吸附剂吸附的气体成分变为充入气体成分。

另一个目的是,在设备空气预热的基础上,再利用充入高压力的无害气体的分子传热作用,使在抽气前绝热材料和吸附剂可以迅速均匀地升高除气温度。

有相关实验证明,氢气、氮气作为充入气体都有一定的效果。考虑到氮气来源方便,使用安全可靠,最适宜作充入气体。

真空设备气体热冲洗的工艺步骤是:先在空气中将真空室预加热到80°C,然后用机械泵粗抽,在真空度达到一定程度时,将选择好的气体缓慢地充入。在上述粗抽过程和充入气体的情况下,继续加热升温,并根据实际情况进行上述步骤2-4次重复的气体热冲洗。在达到充气目的后,正式进行抽真空。