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真空装置间断排气工艺介绍-广东振华真空镀膜设备

停止抽真空不影响材料放气过程。材料放气的特点是,一旦材料、结构和温度确定之后,在一定压力范围内,材料放气率的降低主要取决于放气时间,与抽速大小和真空度高低无关。因此连续抽空并不能促使放气率更快降低。间断抽空时,由于在停止抽真空期间维持住不影响真空装置绝热层内材料放气的"一定压力范围",不影响放气过程,放气率能继续随时间的延长而降低。

真空装置

停止抽真空期间,气体的扩散渗透抽真空作用依然存在。停止抽真空期间真空装置绝热层内材料放气率最高,层与层之间的容积小,压力回升最快。而夹层空间的容积大,周围材料放气率低,压力回升最慢。结果造成真空装置绝热层内与夹层空间始终存在着压差。根据测试,这个压差抽真空时可高达几十甚至上百倍,停止抽真空时为几倍,甚至十几倍。停止抽真空时,在压差的作用下,真空装置绝热层内的气体可以不断通过扩散、渗透作用到达夹层空间。这时空间对于真空装置绝热层内的气体来说始终存在着一定的抽真空作用。

抽真空时因流导的影响,造成真空装置绝热层内材料放气率的降低是不均匀的。

夹层空间储气作用大。夹层空间容积大,周围材料放气率最低,因此能够将真空装置绝热层内的材料放出的气体大量地储存起来。

储存的气体抽掉比较快。所以在重新抽真空时,储存在空间的这些气体,能够很快被真空泵抽走。

对于液氮容器先用气体热冲洗工艺,然后在正式排气中又采用真空装置间断排气工艺,结果在达到与连续抽空72h相同放气量的情况下,实际抽真空时间可进一步缩短到24h。