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大型真空装置的吸附剂活化处理-广东振华真空镀膜设备

对于大型真空装置,通常分子筛、活性炭等吸附剂的加入,更以期好地维待真空。而激活处理吸附剂是至关重要的。下面将一种吸附剂再生活化装置进行介绍,利用该类型装置对吸附剂的处理有如下方法:

1、将吸附剂装入吸附剂室;

2、吸附室加热,套上加热炉。分子筛加热温度为350°C~400°C,活性炭为200°C~250°C,高温保持时间不少于8h(在此保持时间内完成步骤3~7的操作);

3、隔离阀开启,吸附室用机械泵抽真空(前面要慢抽);

4、抽至5Pa后将隔离阀关闭,慢慢将干燥高纯氮气用充气阀充入,至大气压压力;

5、一个小时后,重复第3、4步骤2次~3次;

6、继续抽真空到10-2Pa;

7、隔离阀关闭,将机械泵停下,加热也停止,将加热炉取下;

8、待吸附室温度接近室温时,将低温液体容器套上;

9、低温液体注入容器内;

10、再一次慢慢将干燥高纯氮气用充气阀充入,直至长时间静态平衡在大气压的压力状态;

11、将低温液体容器去掉,由充气阀对回温时脱附的气体“溢出”,知道接近室温温度,将大气隔绝,保存待用;

最后了解一下该吸附剂再生活化装置的组成,主要有:真空规、吸附阱、放气阀、机械泵、加热炉、低温液体容器、吸附剂室、充气阀以及隔离阀等。