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极高真空镀膜机的极高真空状态有哪些特征-广东振华真空镀膜设备

极高真空镀膜机的极高真空状态是指压力低于10⁻⁹Pa的真空环境。众所周知,在真空环境下的物理现象,是与气体分子热运动的平均自由程、气体分子数密度等参数密切相关的。

极高真空镀膜机的极高真空状态有哪些特征

在极高真空状态下,气体具有非常小的分子数密度(常温下,是小于2X10¹²个/m³的),气体分子又有特别长的平均自由程(通常大于6.7X10⁶m,受镀膜机真空室尺寸的影响,气体分子的实际自由程就等于镀膜机真空室的特征尺寸)。

因此,极高真空镀膜机的极高真空状态下气体分子的物理特征完全不同于大气压、低真空或是高真空等环境。在极高真空状态下,气体分子之间仅有非常小的碰撞概率,气体分子偏离了麦克斯韦速度分布律的运动规律。虽然气体分子与真空室壁的碰撞是主要的,但碰撞次数也非常少。因此,气体分子在与真空接触的物体表面上形成单分子吸附层的时间也就非常长。