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真空镀膜设备限制极限压力有哪些因素-广东振华真空镀膜设备

通过极高真空系统达到极限压力的稳态平衡方程式可知,真空镀膜设备限制极限压力的因素主要包括系统的极限压力;真空系统内原有的气体被泵抽除后达到的平衡压力;真空系统中气体的漏率、放气率;真空系统对各种气体的抽速;真空泵对各种气体的极限压力;泵与真空室的连接管道对几种气体的流导以及泵对各种气体的抽速等。

真空镀膜设备

欲使真空镀膜设备真空系统的极限压力达到极高真空,其中每一项的值至少都要达到极高真空的量级。而每一项又是由许多项分压力之和而来。极高真空的抽气泵对气体具有选择性,总压力必须用分压力的和来表示。因此,对气源必须进行个别的分析,即不仅要知道气体量,而且要知道放气成分。这是和一般真空系统不同的一点。泵的选择也要根据放气量及放气成分来考虑,二者不可偏废。