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蒸镀机的真空系统材料如何选择-广东振华真空镀膜设备

蒸发镀膜设备常简称为“蒸镀机”,其配置的高真空系统对材料的选择很重要。首先要考虑选材的蒸气压低,否则造成的气载会很大。如黄铜含有蒸气压高的锌,低熔合金含有锡铅等,塑料、油脂、橡胶等更不宜采用。其次要考虑材料的热稳定性。

高分子化合物热稳定性差,易氧化。如油脂在高温下热解,放出氢及碳氢化合物。极高真空系统用的金属材料最好选不锈钢,尽量不用铜、铜合金等,因为暴露在大气中的铜和铜合金,在高温下氧化得很快。真空系统内必须使用铜时,最好用真空冶炼的铜,避免用电解铜。用铜管作水冷管或作传输低温液体管时,因反复烘烤而发生氧化,容易引起故障。铝、钨、钽最好也用真空冶炼的,放气量小。其它材料使用前也应进行真空预出气处理。由于同一理由,焊接时最好不采用铜焊、银焊,因这些焊接工艺中要使用一些蒸气压较高的焊药。

那么,有没有比不锈钢更适合作蒸镀机的高真空系统的材料呢?

铝已被用来制造大型真空装置(加速器等)。但铝材由于多孔性含有较多的气体、高温强度较低、比较难以焊接等缺点,所以用作真空容器的局限性很大。然而,铝在室温下对氢的渗透率约为300系不锈钢的10⁻⁷,因而在不锈钢上蒸镀10µm厚的铝膜,使氢渗透的放气量减小10⁵倍。铝复合在不锈钢上可用做电子管电极材料。只要充分注意冶炼和锻造,铝有希望成为蒸镀机的高真空系统用的材料。