始于1992年,我们专注于真空镀膜领域

新闻资讯

新闻资讯

news

销售咨询

Sales consultant

服务热线

400-900-9105

真空系统为什么有渗漏现象-广东振华真空镀膜设备

真空系统用的非金属材料如玻璃和有机材料,溶解气体分子的渗透率和压差成正比。氮气通过玻璃渗透有较大的渗透率,它直接影响极高真空的获得,因而极高真空系统不宜用玻璃或有机材料做器壁。

真空系统

当固体材料放在气体中时,周围的气体分子就会溶解在固体表面层。它和固体内原来溶解的气体不同。真空容器器壁两侧气体压力不同,其溶解的气体分子浓度也不同。

金属材料中不溶解稀有气体,如氦、氖等,这对获得极高真空是有利的。双原子分子是在解离成原子后才溶解的,单位时间单位面积渗透的气体量和压差的平方根成比例。

金属材料中气体的扩散系数、渗透率,不锈钢中氢的扩散系数和渗透率等这些参数说明,由不锈钢中放出的气体中,主要成分是氢。特别是经很好地去气以后,99%的残余气体为氢。因此,氢的渗透是获得极高真空的困难之一。大气中的氢通过不锈钢渗透及不锈钢放气速率的一些数据表明,氢的放气速率下限为、1.3*10⁻¹⁰Pa·L/(cm²·s)。为了减小氢的放出,把钨带加热到1220K以上,可观察到其中溶解的氢以原子态放出。