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蒸发镀膜设备常用真空泵有哪些特点-广东振华真空镀膜设备

涡轮分子泵对所有气体都能抽气,且对分子量大的气体其压缩比也大。对于蒸发镀膜设备来说,它是一种理想的清洁泵。影响分子泵极限压力的因素主要是入口端泵体内表面和转子零件表面的材料放气。它对轻的气体压缩比小,又不容易把抽速做得很大,这就限制了它的更广泛的应用。目前的极高真空系统尚没有用分子泵做主泵的。

冷冻升华钛是指将钛膜蒸发镀在77K以下的冷面上。它具有大的抽速及低的极限压力。它在极高真空中工作时,由于加热放出大量气体,钛膜的饱和时间很长,泵主要工作在加热蒸发以后的冷态,故极限压力低。最近有人测定了钛膜的解吸压力,证明解吸压力在室温下低于10⁻¹⁰pa。该泵的优点是结构简单,抽速大,尤其是容积泵,在容器的周围镀上钛膜,周围都是吸气膜,接近一个分子沉的环境。

对于蒸发镀膜设备来说,它的作用不仅是抽气,而且还有减小放气和防止返流的作用,既有泵的作用又有阱的作用,是空间模拟器和极高真空获得中不可少的泵。低温下钛膜对氢有较大的抽速,而不锈钢系统烘烤后的残余气体主要是氢。缺点是对惰性气体抽速很小,因此必须和其它泵配合。弹道钛泵对惰性气体有一定抽速,但由于有热丝存在,极限压力为10⁻⁹Pa范围,且抽速不易做得很大,经常被升华泵和溅射离子泵代替。

溅射离子泵在10⁻⁸Pa以下时抽速降低,甚至“灭火",停止抽气。这是由于在极低压力下自由电子密度减小,在潘宁区内不产生放电。有人提出利用ρ射线源放出的电子射线来增加电子密度,实验证明在低于10⁻⁸Pa的压力下仍有抽气作用。但泵本身允许的烘烤温度低,阳极格子放气面积大,泵工作时极限压力低于10⁻¹⁰Pa是困难的。