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油扩散泵实验真空系统的构成有哪些-广东振华真空镀膜设备

兰州物理研究所在深入研究扩散泵与机械泵返流机制的基础上,为降低真空系统的泵液返流,做了大量工作。例如,扩散泵采用"挡油帽——障板——阱"的常规方法,已使泵本身的极限压力由10⁻⁵Pa提到10⁻⁸Pa,返流率由1×10⁻⁶g/cm²·min~1×10⁻⁷g/cm²·min降低到低于1×10⁻¹⁰g/cm²·min。高效率的液氮冷冻钛升华阱的使用,进一步降低了泵液返流,获得了不高于6×10⁻¹¹Pa的超清洁极高真空环境。

真空系统

利用机械泵、扩散泵、障板和液氮阱组成的典型的油扩散泵系统,借助四极质谱计,分析在不同运转条件下系统的剩余气体,估算障板、阱降低泵液返流的效果和烘烤对去除泵液污染的作用,同时研究了真空浸泡、充氮保护这一简单有效的降低放气和污染的运转方法,从而,加深了对污染成分、来源和降低污染方法的认识,有助于了解和控制系统的剩余气体。

油扩散泵系统获得极高真空时,气体质谱分析的实验真空系统的构成如下:液氮阱以上的部件由不锈钢制成,金丝密封。冷阱下法兰以下用丁膳橡胶密封。扩散泵泵体为碳钢,使用275硅油,机械泵使用泵油。四极质谱计为QMG-101型。总压力由B-A规管读取。