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真空浸泡对真空镀膜有什么作用-广东振华真空镀膜设备

为降低真空镀膜材料表面放气,在此了解一种新的除气工艺——真空浸泡。真空浸泡是指系统在静置期间保持真空,让表面所吸附的气体解吸而放出,以降低放气率的方法。在没有大的漏气情况下,主要气体负荷是表面放气,减小表面放气的方法除烘烤外,最简便的方法就是真空浸泡。

真空镀膜

系统分别在暴露大气和真空浸泡24h后,相同运转条件下(障板、冷阱不冷冻),真空镀膜系统真空度分别为8X10⁻⁴Pa和1.86X10⁻⁵Pa。静态升压法测定系统总放气率分别为4.26X10⁻¹Pa·L/s和1.35X10⁻²Pa•L/s。质谱分析表明,暴露大气后系统主要剩余气体是水。它不仅影响系统的极限真空,而且严重影响机械泵前级预抽时间的真空度。真空浸泡后系统水峰大大降低,但油峰有所增加。