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充氮保护对降低镀膜污染有哪些作用-广东振华真空镀膜设备

充氮保护是指镀膜机的扩散泵停止工作后,在冷阱中液氮去除前,即通过针阀向容器充入氮气,保持约13.3Pa的氮压力下吹除液氮和停氟里昂机,然后停机械泵,系统在约0.1Pa氮压力下浸泡。通过对真空系统经充氮和不充氮处理,静置12小时后,运转条件和时间完全相同时冷阱注入液氮前后的剩余气体质谱图进行分析,可见采用充氮保护运转后,除氮、水峰外,重质量数油峰显著降低,极限真空也相应提高。

镀膜

真空浸泡后油峰有所增加的事实表明,从油蒸气对镀膜真空容器所造成的污染来说,除泵正常运转中的返流外,在真空系统没有隔离阀的情况下,主要是真空系统在真空浸泡期间发生的。因为这时泵已停止工作,失去了抽气作用,而真空系统仍处于真空,原先吸附障板冷面上的大量返流物会因升温而解吸,几乎是毫无阻碍地返进容器重又吸附于器壁上。这样,在下一次运转中,由于镀膜过程的污染物的解吸很缓慢,使真空系统的清洁程度变坏,也大大延长了抽气时间。

此外,真空静置期间,泵液也可能通过蒸发、爬移等途径对真空容器壁造成污染。克服这一问题的方法除在真空系统中设置隔离阀外,充氮保护是一种简便可行的方法。