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镀膜机抽真空时关于氢气的“反常特性”-广东振华真空镀膜设备

对冷凝氢气的饱和蒸气压的实验研究表明:当冷凝温度低于3K时,氢气的饱和蒸气压偏离于克劳修斯—克拉柏龙方程。

而这种偏离是朝向较高的压力方向(10⁻⁷Pa-10⁻⁹Pa范围),且与冷凝面的温度无关。这就是所谓氢气的“反常特性”。由于烘烤后镀膜机不锈钢真空室的主要放气成分是氢气,氢气的这种反常行为严重限制用冷凝泵来获得极高真空环境,因而必须予以克服。