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真空镀膜在显示元件领域中有哪些应用-广东振华真空镀膜设备

1、电发光

(1)电极,成膜材料为:Al。采用蒸发镀膜方法成膜。

(2)透明电导膜,成膜材料为:ln₂O₃+SnO₂。采用蒸发镀膜或溅射镀膜方法成膜。

(3)荧光体,成膜材料为:ZnS,ZnS+ZnSe,ZnS+CdS。采用蒸发镀膜或溅射镀膜方法成膜。

(4)绝缘膜,成膜材料为:Y₂O₃,SiO₂,Si₃N₄ ,Al₂O₃。采用溅射镀膜方法成膜。

2、等离子体、显示管

(1)电极,成膜材料为:Cr-Cu-Cr。采用蒸发镀膜或溅射镀膜方法成膜。

(2)保护膜,成膜材料为:MgO。采用蒸发镀膜方法成膜。

(3)绝缘膜,成膜材料为:Al₂O₃,SiO₂。采用溅射镀膜方法成膜。

3、液晶

(1)透明电导膜,成膜材料为:ln₂O₃+SnO₂。采用蒸发镀膜或溅射镀膜方法成膜。

(2)被膜,成膜材料为:SiO₂。采用溅射镀膜方法成膜。

(3)电极,成膜材料为:Al。采用蒸发镀膜方法成膜。

(4)配向膜,成膜材料为:SiO。采用蒸发镀膜方法成膜。

4、彩色显像管

(1)电极,成膜材料为:Au,Pt。采用蒸发镀膜方法成膜。

(2)传感器,成膜材料为:WO₃,MoO₃,TiO₂,V₂O₅。采用蒸发镀膜或溅射镀膜方法成膜。

(3)透明电导膜,成膜材料为:ln₂O₃+SnO₂。采用蒸发镀膜或溅射镀膜方法成膜。

5、荧光显示管

(1)电极,成膜材料为:Al。采用蒸发镀膜或溅射镀膜方法成膜。

(2)透明电导膜,成膜材料为:ln₂O₃+SnO₂。采用蒸发镀膜或溅射镀膜方法成膜。

6、发光二极管

电极,成膜材料为:Au,AuGe,Al。采用蒸发镀膜方法成膜。

二极管