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我国现有的真空标准汇总-广东振华真空镀膜设备

1.GB 913一66 泵分类及技术条件

2.GB 4844-84 氦气

3.GB 4845—84 氦气验收方法

4.GB 4982—85 夹紧型真空快卸法兰

5.GB 4983—85 拧紧型真空快卸法兰

6.GB 6071.1一85 超高真空法兰结构型式

7.GB 6071.2一85 超高真空法兰尺寸

8.GB 6071.3—85 超高真空法兰用铜密封垫

9.GB 6306.1—86 变容真空泵抽气速率(体积流率)测试方法

10.GB 6306.2—86 变容真空泵极限压力测试方法

11.GB 6306.3一86 变容真空泵消耗功率测试方法

12.GB 6306.4一86 变容真空泵工作温度测试方法

13.GB 6307.1一86 蒸气流真空泵抽气速率(体积流率)测试方法

14.GB 6307.2一86 蒸气流真空泵临界前级压力测试方法

15.GB 6308.1一86 橡胶密封真空规管接头

16.GB 6308.2—86 金属密封真空规管接头

17 .GB 7772—87 变容真空泵噪声测量方法

18.GB 7773—87 变容真空泵振动测量方法

19.GB 7774一87 涡轮分子泵性能测试方法

20.GB 7775—87 蒸气流真空泵加热时间和加热功率测试方法

21.GB 7776—87 蒸气流真空泵泵液返流率测试方法

22.GB 9445—88 无损检测人员资格鉴定通则

23.GB 14174—93 大口径液氮容器

24.GB 16774—97 自增压式液氮生物容器

25.GB 18442—2001 低温绝热压力容器

26.GB/T3163一93 真空技术术语

27.GB/T3164—93 真空技术系统图用图形符号

28.GB/T5458—97 液氮生物容器

29.GB/T6070一95 真空法兰

30.GB/T11164—99 真空镀膜设备通用技术条件

31.GB/T12604—95 无损检测术语泄漏检测

32.GB/T13979—92 氮质谱检漏仪

33.GB/T14211—93 机械密封试验方法

34.GB/T15823一95 氦泄漏检验

35.GB/T16709—96 真空技术 管路配件 装配尺寸

36.GB/T16775-97 低温容器漏气速率测定方法

37.GB/T18193—2000 真空技术质谱检漏仪校准

38.GB/T18443.1一2001 低温绝热压力容器试验方法 容积测量

39.GB/T18443.2一2001 低温绝热压力容器试验方法 真空度测量

40.GB/T 18443. 3—2001 低温绝热压力容器试验方法 漏率测量

41.GB/T18443.4—2001 低温绝热压力容器试验方法 漏放气速率测量

42.GB/T18443.5—2001 低温绝热压力容器试验方法 静态蒸发率测量

43.GJB 128A—97 半导体分立器件试验方法

44.GJB 360A—96 电子及电气元件试验方法

45.GJB 548A—96 微电子器件试验方法和程序

46.GJB 1808—93 真空计的校准方法 动态流量法

47.GJB 2709—96 有机材料低温气体渗透系数试验方法

48.GJB 2715一96 国防计量通用术语

49.GJB/J 3416一98 真空计(电参数)检定规程

50.JB/T1246一97 滑阀真空泵

51.JB/T 2965—92 溅射离子泵 性能测试方法

52.JB/T4077—91 高真空插板阀 型式与基本参数

53.JB/T4078一91 高真空挡板阀 型式与基本参数

54.JB/T4079-91 高真空蝶阀 型式与基本参数

55.JB/T4080-91 高真空电磁阀 型式与基本参数

56.JB/T4081一91 溅射离子泵 型式与基本参数

57.JB/T4082-91 溅射离子泵 技术条件

58.JB/T4083一91 真空电磁带充气阀 型式与基本参数

59.JB/T5410-91 低真空电磁压差充气阀 型式与基本参数

60.JB/T5971一-92 单级多旋片式真空泵

61.JB/T6446一92 真空阀门 技术条件

62.JB/T6533一97 旋片真空泵

63.JB/T6921一93 罗茨真空泵机组

64.JB/T6922一93 真空蒸发镀膜设备

65.JB/T6923一93 真空加压浸渍设备

66.JB/T 7265一94 蒸气流真空泵

67.JB/T7266-94 容积真空泵性能测量方法

68.JB/T7673一95 真空设备型号编制方法

69.JB/T7674一95 罗茨真空泵

70.JB/T7675一95 往复真空泵

71.JB/T8105.1一99 橡胶密封真空规管接头

72.JB/T8105.2一99 金属密封真空规管接头

73.JB/T 8106一99 容积真空泵 噪声测量方法

74.JB/T8107一99 容积真空泵 振动测量方法

75.JB/T8472.1一96 蒸气流真空泵性能测定第一部分:抽气速率(体积流率)的测定

76.JB/T8472.2一96 蒸气流真空泵性能测定第二部分:临界前级压力的测定

77.JB/T8540一97 水蒸气喷射真空泵

78.JB/T8944一99 单级旋片真空泵

79.JB/T8945一99 真空溅射镀膜设备

80.JB/T8946一99 真空离子镀膜设备

81.JB/T9125一99 立式涡轮分子泵

82.JB/fQ 563一87 2X型旋片真空泵质量分等

83.JB/TQ 564—87 滑阀真空泵质量分等

84.JB/TQ565一87 真空阀门质量分等

85.JB/TQ566一87 往复真空泵质量分等

86.JB/TQ 567一87 2XZ型旋片真空泵质量分等

87.JB/TQ 568一87 罗茨真空泵质量分等

88.JB/TQ 569一87 油扩散泵质量分等

89.JB/TQ 570一87 油扩散喷射泵质量分等

90.JB/TQ 571一87 真空镀膜设备质量分等

91.JB/TQ 634一88 真空振动流动干燥设备系列参数

92.JB/TQ 635一88 真空振动流动干燥设备技术条件

93.JB/TQ636一88 真空振动流动干燥机质量分等

94.JB/TQ 638一88 振动流化床干燥机质量分等

95.JB 1090—91 J型真空用橡胶密封圈型式及尺寸

96.JB 1091—91 JO型骨架型真空用橡胶密封圈型式及尺寸

97.JB 1092—91 O型真空用橡胶密封圈型式及尺寸

98.JB 1246一85 滑阀真空泵型式与参数

99.JB 1247—85 滑阀真空泵技术条件

100.JB 2569 —81 溅射离子泵性能测试方法

101.JB 5278.1一91 铜丝密封可烘烤真空法兰连接型式

102.JB 5278.2—91 铜丝密封可烘烤真空法兰法兰结构尺寸

103.JB 5278.3一91 铜丝密封可烘烤真空法兰铜丝密封圈结构尺寸

104.ZBJ 78001一87 2XZ型直联旋片真空泵系列参数

105.ZBJ 78002一87 2:XZ型直联旋片真空泵技术条件

106.ZBJ 78003—87 2X型旋片真空泵系列参数

107.ZBJ 78010一87 直简式水冷挡板参数、技术条件、验收规则

108.ZBJ 78011.1-89 余摆线真空泵系列参数

109.ZBJ 78011. 2-89 余摆线真空泵技术条件

110.ZBY 117—83 热偶真空计技术条件

111.ZBY 153一83 电火花真空检漏器技术条件

112.ZBY 176一83 电离真空计型号命名方法

113.ZBY 227—84 热阴极电离真空计控制元件技术条件

114.ZBY 243一84 真空测量仪表通用技术条件

115.ZBY 248—84 电阻真空计技术条件

116.ZBY 285 一84 冷阴极电离真空计技术条件

117.ZBY 286-84 冷阴极电离真空计规管技术条件

118.ZBY 287-84 真空蒸发镀膜设备技术条件、验收规则

119.ZBY 290—84 热阴极电离真空计规管技术条件

120.SY 1632—-65 真空封蜡

121.SY 1633—75 真空封泥

122.SY 1634—70 真空机械泵油

123.SY 1635一66 真空增压泵油

124.SY 1636一66 真空扩散泵油

125.QJ 1322一87 真空中材料质量损失测试方法

126.QJ 1371一88 真空中材料可凝挥发物测试方法

127.QJ 1540一88 加压充氮一步快速检漏筛选法

128.QJ 1558一88 真空中材料挥发性能测试方法

129.QJ 1610一89 阀门气体泄漏率分级及其检测

130.QJ 1897一90 真空封口阀

131.QJ 1898一90 真空封口阀技术条件

132.QJ 1991一90 真空-紫外辐照材料质量损失测试方法

133.QJ 2040.1一91 标准漏孔的校准方法绝对校准方法

134.QJ 2040. 2一91 标准漏孔的校准方法相对校准方法

135.QJ 2075一91 阀门液体压降试验方法

136.QJ 2194一91 有机材料气体渗透系数测试方法

137.QJ 2195一91 有机材料低温气体渗透系数测试方法

138.QJ 2196一91 高熔点氧化物气体渗透系数测试方法

139.QJ 2197一91 金属及其合金气体渗透系数测试方法

140.QJ 2213.1一92 继电器特种环境试验方法超高真空冷焊试验

141.QJ 2475一93 低温容器通用技术条件

142.QJ 2651一94 真空封口接头

143.QJ 2667一94 真空用油脂饱和蒸气压测试方法

144.QJ 2675.1一94 低温容器性能试验方法夹层真空度试验

145.QJ 2675.2一94 低温容器性能试验方法放气速率试验

146.QJ 2675.3一94 低温容器性能试验方法真空夹层漏率试验

147.QJ 2675.4一94 低温容器性能试验方法日蒸发率试验

148.QJ 2676一94 吸附剂低温低压吸附性能试验方法

149.QJ 2693.1一94 空间材料出气速率测试方法 15°C~45°C出气速率

150.QJ 2693. 2一94 空间材料出气速率测试方法 45°C~1000°C出气量和出气速率

151.QJ 2768一95 低温容器检修技术条件

152.QJ 2861一96 氦质谱检漏最小可检漏率的检验方法

153.QJ 2862一96 压力容器焊缝氮质谱吸枪罩盒检漏试验方法

154.QJ 2965一97 氟橡胶密封超高真空法兰规范

155.QJ 3088一99 正压标准漏孔校准方法

156.QJ 3089—99 氦质谱正压检漏方法

157.JJG(航天)33一99 气体活塞式压力计检定规程

158.JJG(航天)45一99 比对法校准真空计检定规程

159 .JJG 793一92 标准漏孔检定规程