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蒸发镀膜设备有哪些构造-广东振华真空镀膜设备

真空蒸镀是一种发展得较早和应用得较广泛的真空镀膜技术,发展至今,这项技术仍有着重要的地位。但是从近年的真空镀膜技术发展来看,真空溅射和真空离子镀技术显得更为优越一些。目前看来,即使在蒸发镀膜设备中,也有很多新的内容引进。

蒸发镀膜设备

真空蒸发镀膜,是在10⁻³~10⁻⁴Pa的压力下,采用各种形式的热能转换方式使镀膜材料蒸发出来,并成为具有一定能量的气态粒子(原子、分子或原子团),蒸发的气态粒子通过基本上无碰撞的直线运动方式传输到基底,然后在基底上凝聚成膜。而这其中的基底通常接地,不施加偏压。

在蒸发镀膜过程中,气态粒子是由放于蒸发源中的蒸发材料而产生的,而真空蒸发镀膜设备可以采用经典的电阻法,亦或是后来的新技术如电子束轰击、高频感应法、激光蒸发或放电法等方法加热蒸发。真空蒸镀机的镀膜真空室为金属(通常为不锈钢或碳钢)打造,并备有提升机构(手动的或液压)。再者是由扩散泵和机械泵组成的抽真空系统,通过真空阀门对镀膜真空室抽气。气体通过针阀进入真空室,底盘上有规管(测试真空度用的)。

利用上述的抽真空系统,可以使镀膜室的真空度达10⁻³~10⁻⁴Pa的压力,基片的烘烤可采用加热器进行,可达到去除基片上吸附的气体的效果。镀膜材料的蒸发通常是通过电阻加热的蒸发源完成的,该蒸发源可以是丝状或加工成舟状的。镀膜靶材呈“游标”状态悬挂着或缠绕在蒸发源丝之上。此外,有些材料是从陶瓷坩埚中蒸发,再通过螺旋形加热器通电加热达到蒸镀的效果。