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真空蒸镀设备有哪些改进措施-广东振华真空镀膜设备

电阻加热方式的缺点是加热所能达到的最高温度有限,加热器的寿命相对于电子束真空蒸镀设备的蒸发源来说也较短。近年来,为了提高蒸发源的寿命,国内外已采用寿命较长的氮化硼合成的导电陶瓷材料作为镀膜机蒸发源。

真空蒸镀设备

据日本专利的一项报道,当前可采用20-30%的氮化硼和能与其相熔的耐火材料所组成的材料来制造坩埚,并在坩埚的表面涂上一层含62-82%的锆,其余都是锆硅合金材料。但是有一点美中不足的是,这种坩埚成本相对较高,因此,也有人将研发重点放在研制高质量、低成本的石墨坩埚上。采取精确地计算和控制石墨坩埚的合理功率,将坩埚的给料方式进行改进,避免坩埚因为温度过高以及研制高纯、高密度的石墨发热体,这样可提高石墨坩埚到十几个小时以上的寿命。

因此,为了克服电阻式蒸发加热蒸镀膜设备可能存在的问题,近年来,蒸镀机也广泛采用电子束作为蒸发源的真空蒸镀设备,放在坩埚中的材料经电子束轰击后熔化井蒸发,在平衡态温度时、单位时间内从每平方厘米面积上蒸发的具有一定分子量的粒子的数目,可以通过分子运动论推出这一过程的蒸气压(以Pa为单位的蒸气压)。