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镀膜机用e型电子枪有哪些特点-广东振华真空镀膜设备

电子束蒸发镀膜机可根据电子束蒸发镀的不同型式,分为:e型枪、环形枪、空心阴极电子枪和直枪等几种类型。所谓“e型电子枪”,即偏转270°的电子枪。

镀膜机

1、构造:真空室内差压板将其分为上、下两部分,下部放置电子枪故要求有较高的真空度。阴极发射电子并带有-2~-5KV的负高压,坩埚接地。阴极发射的电子经过聚焦和磁场偏转,穿过差压板上的小孔,偏转270°后轰击坩埚内的镀膜材科,使之熔化、蒸发。

2、优点:e型电子枪可产生的功率密度很高,对于熔点较高的金属一样能熔化,该电子枪产生的蒸发粒子能量高,使镀制膜层和基底结合更加牢固,设备成膜质量好。

3、缺点:该类型的电子枪要求有较高的真空度,且需要使用负高压,镀膜机真空室内要求设置差压板,这些条件导致了镀膜设备结构变得较为复杂,且安全性差、不易维护、造价较高。

目前,由于该电子枪克服了直枪的缺点,是现如今电子束蒸发镀膜机用得较多的电子束蒸发源之一。