始于1992年,我们专注于真空镀膜领域

新闻资讯

新闻资讯

news

销售咨询

Sales consultant

服务热线

400-900-9105

溅射镀膜机可以镀绝缘材料吗-广东振华真空镀膜设备

简单的直流二极溅射型镀膜机可以镀金属、合金以及些低导电性的材料,但是不能直接镀绝缘材料。直流二极溅射法方法简单,但是有不少缺点。直流二极溅射的工作气压较高(1Pa左右),因而在真空室中残留的气氛(O₂,H₂O,N₂,CO₂,等等)对于膜层的质量影响就较大。

溅射镀膜机

二极直流溅射镀膜机的溅射速率也较低,这是由于二极溅射的放电方式所决定的。二极溅射的阴-阳极间的距离通常在2-6cm左右,距离过大沉积速率下降太快,距离过近放电难以维持。此外,由于阴极的热辐射和二次电子的发射会引起基片温度的升高,从而使基片产生某些性能上不可逆变的辐射损伤。

为了镀绝缘材料,需要采用高频溅射镀膜设备。高频电源是采用高频振荡器产生的,通过匹配箱(振荡槽路)连接在靶上。常用的高频电源频率为13.56MHz,每平方厘米靶面上的功率为10W。在高频溅射中,并不需要从阴极发射大量的电子来维待放电过程,在直流辉光放电中的阴极过程在高频溅射放电中就没有什么作用,甚至没有电极,只要有高频电场存在,电子也可以从外电场中吸收能量产生振荡运动,电子和气体粒子的碰撞几率大大增加,气体的电离度也就大大增加了,这样使得气体的着火点和维持辉光放电所需的电压都有所降低,这样使高频溅射放电能在较高的真空度(即较低的气压)下进行。

例如,二极直流溅射镀膜常在1Pa左右的气压下进行,而高频溅射镀膜却可在0.1Pa甚至更低的气压下进行,利用高频溅射还可以溅射绝缘材料,这是由于在放电时电子的迁移率较大,因而比较容易移动,既能到达靶也能到达基片及其它的接地部分。但是,正离子的质量相对地要比电子大,因此较难移动。于是,电子就积存在由绝缘体制成的靶面上,等于自动地加上了负电压。正离子在靶面上负电位的强烈的吸引下,运动到靶面并对绝缘体的靶产生溅射作用。这样在基底上就形成了绝缘体的薄膜。

所以,在利用高频溅射镀膜机制造导电薄膜时,通常要在靶的接线端上串联100-300pF的电容器,使在靶面上能累积起电子产生负电场而被溅射。