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什么是电阻蒸发源蒸镀法-广东振华真空镀膜设备

电阻蒸发源蒸镀法是一种基本的真空蒸发镀膜法,“蒸镀”是指在真空室中,加热蒸发镀膜室中待形成薄膜的镀膜材料,使材料原子或分子从表面气化并且逸出,形成蒸汽流现象,入射到衬底或基片的表面,最终凝结形成固态薄膜的一种薄膜制备方法。

电阻蒸发源蒸镀法

所谓电阻蒸发源蒸镀法则是采用钽,钼,钨等高熔点金属,做成适当形状的蒸发源,其上装入待蒸发材料,让气流通过,对蒸发材料进行直接加热蒸发,或者把待蒸发材料放入氧化铝,氧化铍等坩锅中进行间接加热蒸发。这就是电阻加热蒸发法。

利用电阻加热器加热蒸发的真空蒸发镀膜机拥有结构简单,造价便宜,使用可靠等优势,可用于熔点不太高的材料的蒸发镀膜,尤其适用于对镀膜质量要求不太高的大批量的生产中,迄今为止,在镀铝制镜的生产中,仍有电阻加热蒸发的镀膜工艺的大量投入使用。

电阻蒸发源蒸镀法的缺点是:加热所能达到的最高温度有限,加热器的寿命也较短。近年来,为了提高电阻蒸发源的寿命,国内外的真空镀膜设备厂已采用寿命较长的氮化硼合成的导电陶瓷材料作为蒸发源。据日本的一项专利报道,其可采用20%~30%的氮化硼和能与其相熔的耐火材料所组成的材料来制作蒸发源(坩锅),并在它的表面涂上一层含62%~82%的锆,其余为锆硅合金材料。