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钼电子束蒸发的工艺问题-广东振华真空镀膜设备

近,一位客户遇到了钼电子束的蒸发工艺问题:

钼在1592°C的蒸气压为10⁻⁸Pa,在2117°C的蒸气压为10⁻⁴Pa。钼确实会熔化,但不会升华。它不需要坩埚衬里,是一种出色的电子束蒸发材料。您若正在使用碳衬里坩埚会形成碳化钼。所得的钼薄膜是光滑且坚硬的。但是,在将装料加热到一定温度时,必须小心谨慎地除气。使用缓慢的上升过程,并延长浸泡时间。

您应该以8字形的图案用电子束炉床所允许的宽度来行切电子束。我不希望蒸发量低于液相线,因为钼不会从固态升华。装料中起始粒料的大小意义不大,因为它们会融化,并且在初次运行后冷却后液体会形成实心锥。