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真空镀膜控制装置的分类有哪些-广东振华真空镀膜设备

早先我国的真空镀膜控制装置主要采用继电器、接触器以及相关仪表加辅以人工操作,来完成真空镀膜过程的程序控制、超限报警等基本功能。而后在20世纪80年代左右我国拉开了真空设备自动化控制研究的序章。设备实现真空镀膜过程的自动化,使真空镀膜过程的稳定性、安全性、膜层质量、效率等水平有了进一步的提高。关于真空自动控制系统主要有以下三种分类方法:

1、根据控制系统的结构分类

(1)闭环控制装置

如果系统能够连续测量被控制的对象输出信号,并反馈给控制系统输入端,比之输入信号而形成信号偏差,信号偏差进行一系列运算,得出结果的发出控制信号以控制被控制的对象输出,使得偏差量和被控制量保持在给定值内。由于整个控制装置可形成一个闭环,它被称为闭合回路控制系统,也叫闭环控制装置、反馈系统等。这种闭环管理控制装置可以进行纠正由于不可预测的扰动引起的被控制量大的波动。

举例:真空自动控制装置、连续蒸发镀膜设备中的恒张力自动控制装置等。

(2)开环控制装置

这种结构是指系统的输出量对系统的控制重要作用不会产生影响的装置。开环控制的缺点是控制工作过程受到企业各种扰动因素分析影响时, 将会直接通过影响输出量, 而控制进行系统能自动补偿。

举例:真空泵的控制。

2、根据控制系统的类型分类

(1)计算机控制装置

因计算机的逻辑与数学运算能力强大,所以可组成很多功能较为完善的自动检测装置或自动控制装置。

举例:工业控制器、微型计算机、单片机。

(2)工业控制装置

一种可编程序控制系统。中小型型号的就只用于程序控制,较大型号的可用于程序控制以及一些参数调整。

(3)仪表控制装置

常用在定值控制调节中。此类控制系统兼测量和控制功能于一身的自动仪表。

举例:真空压力控制器、温度控制器等。

(4)继电器进行控制装置

常用在简单的顺序控制或参数的自动调节的功能实现中。此类控制系统是由继电器、接触器等电器元件构成的。

3、根据给定值的运动规律分类

(1)随动装置

随动装置又叫跟踪装置或伺服装置。其给定值是随机变化的, 而被控制量始终保持快速而准确在跟踪给定值的变化,随之而变,所以称为随动。

举例:真空度及温度自动记录仪。

(2)程序控制装置

程序控制装置指的是装置的输出是基于给定值的程序系统上。

举例:真空机组程序自动控制装置。

(3)定值控制装置

这种系统也叫恒值调节系统。可在一段特定的时间内或在整个系统运行过程中,系统的给定值保持不变,从而使控制量保持不变或基本恒定。

举例:真空度、流量、温度等自动控制装置。

现如今,真空镀膜设备的自动化水平高低,已经成为一种反映镀膜设备技术水平的标志。​在真空镀膜控制装置中,经常涉及到一些自动控制元件,有机械、液压、气动、电气等类别。常见于开关、限位开关、电机、按钮、熔断器、接触器、继电器、信号灯、变压器、液压缸、液压阀、气动阀、控制电机等,还有一些自动化的温度、压力等自动测量与控制仪表等,以及自动控制装置或计算机等。此外,还有一些专用常见的自动控制元件、真空阀、真空调节阀、压力控制仪、真空计等。