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真空镀膜机抽真空有哪些要求-广东振华真空镀膜设备

真空镀膜机依靠真空抽气系统的抽气来获得镀膜的真空环境。真空的抽气系统通常根据不同设备的真空度和清洁度要求,从而选择不同的真空抽气系统。一般真空系统的真空区域划分有:极高、超高真空系统,高真空系统,中、低真空控制系统这三个等级的划分。这三个级别的真空系统各由不同的主泵、辅助泵及其它相关真空部件构成。

例如:极高、超高真空系统的要求就是高清洁度,因此需要采用高性能的低温泵、离子泵、涡轮分子泵和冷阱等装置,才可达到极高、超高真空环境;高真空系统通常以机械泵、扩散泵、插板阀、冷阱、障板等部件组成,主泵可以是低温泵、涡轮分子泵,也可以是钛升华泵、溅射离子泵与低温障板等装置构成的无油高真空或者抽气设备,可进一步研究减少油污染,至于前级的粗抽则用吸附泵;中、低真空系统,便是以机械泵或机械泵辅以加罗茨泵为主要组成部分,或者加装分子筛阱则可防止油污染,但加装分子筛阱的话,则要注意在实际抽真空操作时,避免分子筛固体粉末被吸进机械泵。

对于各种不同等级的真空系统,在真空抽气的启停、操作、故障发生等过程中,都要注意气对真空清洁度的影响,即对污染的防护能力都有相应的严格控制要求,要求必须可以通过相关操作技术规程。比如设备抽真空过程中的要求主要有:

1、避免机械泵吸入分子筛吸附阱中的分子筛及其固体颗粒;

2、为避免回温后的事故发生,吸附泵要装设抗压力爆破装置;

3、停机时,高真空泵的停止要在真空室隔离、排除液氮、回温之后进行;

4、扩散泵不得与真空室或冷阱相通,因为在泵运行前和停泵的20min内的油蒸气污染太大;

5、在某环境的机械泵只能抽15Pa-20Pa或更高的压力,否则会有严重的反流污染问题;

如果一个真空镀膜机的真空抽不上去或达不到真空设计要求,首先要检查两个方面,其一要进行检查抽气装置是否运作正常,其二要检查是否有不允许的放气源存在。对于镀膜机的各种真空零部件在设备组装之前,必须通过严格的清洁、烘干、检漏流程,确认这些零部件合格后才能投入使用。此外,还要检查可拆卸部位密封圈的清洁程度,以及密封面的划痕程度与连接紧密程度等。