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PVD镀膜设备的真空规如何选择-广东振华真空镀膜设备

由于低于大气压的气体全压测量的范围较广,加之各种不同的环境条件、气流状态以及各种气体成组份等因素的存在,致使PVD镀膜设备的真空规选择较为复杂。选择测量方法及其真空规的选用时,要考虑各种环境条件,还有被测气流的状态、被测气体成分的性质、所选规与被测气体间的相互作用以及真空规的测量精度、范围等性能,再结合客户的特殊要求进行合理选用。

本文主要对PVD镀膜设备的各类真空规的性能做比较:

1、汞U形压力计(量程为10⁵~10²Pa;测量精度为10%)、油U形压力计(量程为2×10³~1Pa;测量精度为1%)。其灵敏度都与气体组份无关,作为绝对真空规,可作为标准。

2、压缩式规,该规的量程为10³~10⁻³Pa,测量精度低于3%,该规是一种绝对真空规,可作为高真空标准。

3、布尔登规(量程为10⁵~10³Pa;测量精度低于10%)、机械膜盒规(量程为10⁵~10²Pa;测量精度低于10%)、电容薄膜规(量程为10³~10⁻²Pa;测量精度低于1%),灵敏度与气体种类无关,要进行校准。

4、电阻规(量程为10⁴~10⁻²Pa)、热敏电阻规(量程为10²~10⁻¹Pa)、热偶规(量程为10²~10⁻¹Pa),测量精度均为10%-100%,其灵敏度都与气体种类有关,且容易变化。

5、电离规(量程为10⁻¹~10⁻⁵Pa)、B-A规(量程为10⁻¹~10⁻⁸Pa),它们的测量精度都是10%-20%,且灵敏度与气体种类有关。

6、α规,量程为10⁵~10⁻²Pa,测量精度为10%,α规的灵敏度与气体种类有关。

7、潘宁规(量程为1~10⁻⁵Pa,测量精度为20%~50%)、磁控规(量程为10⁻¹~10⁻⁴Pa,它在超高真空条件下的测量仅有指示意义),它们的灵敏度与气体种类都有关,且规抽速都较大。

8、克努曾规,量程为10⁻¹~10⁻⁵Pa,测量精度为百分之几,它在理想条件下为绝对真空规,且克努曾规的灵敏度与气体组份无关。

9、粘滞性规,量程为10~10⁻⁴Pa,测量精度为百分之几十,粘滞性规的灵敏度与气体种类有关。