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真空镀膜机壳体是什么材料-广东振华真空镀膜设备

在诸多真空设备中,外壳有两类常用的材质,分别是金属、玻璃。相较之下,金属材质的真空设备有着较好的机械强度、实现高精度的加工比较容易等优势;而玻璃材质的设备则由于透明、电绝缘等特性,使设备的内部情况更加便于观察、可用高频加热的方法对设备内部的金属零件作除气处理等,此外,还有可用高频火花枪进行检漏、便于加工等特点。但由于玻璃有着质脆、易碎的材质特征,因而真空镀膜机壳体多以金属作为主要构造材料、玻璃常作为观察窗主体材质。

1、玻璃及石英

玻璃有很多的种类,我们以真空技术方面来划分,通常可分为:软玻璃、硬玻璃以及石英玻璃这三类。

(1)软玻璃

软玻璃的软化温度较低,在490°C~610°C之间,其线膨胀系数较大。 由于软玻璃拥有便宜的价格,且有很低的氦渗透速率,所以它在电子管的壳体材料中应用较多,可封接杜美丝、铅丝等。

(2)硬玻璃

硬玻璃的软化温度较高,在555°C~806°C之间,其线膨胀系数较小。硬玻璃有着适中的软化温度,加工、烘烤除气都很方便,加之良好的耐温差性能,使其成为最常用的一种真空技术中的玻璃。而按不同的膨胀系数来划分,硬玻璃又分为钼组玻璃和钨组玻璃。

(3)石英玻璃

石英玻璃则有高达1500°C的软化温度,其线膨胀系数相对更小。石英玻璃因为有着更高的价格,且有着最高的氦渗透速率特征,因而只在要求可使紫外光透过的真空设备或高温真空设备中应用。

2、金属与合金

真空镀膜设备的壳体材料主要成分为金属。目前金属真空壳体材料主要有以Al、Cu、Fe为基础的金属、合金。如:不锈钢、碳钢、紫铜、无氧铜、铝、铜、覆铝、镍的钢或铁材。其中,具备耐锈蚀、出气速率较低的优势的不锈钢,是真空镀膜机壳体常用的一种优良材料。此外,由于在铝中的氢的扩散速率较低,使得该材料烘烤后也有较低的出气速率,所以这类材料也是有希望进一步发展的超高真空设备壳体主要的一种材料。