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蒸发镀膜设备真空泵有哪些工作物质-广东振华真空镀膜设备

蒸发镀膜设备真空泵的工作物质主要分为机械泵、蒸气流泵、吸气剂和吸气剂泵材料、泵工作液、低温泵、阱用冷冻剂等。大体上可将真空泵油分为:石油烃、酯、卤化碳氢化物、硅油和酰五大类。

其中,由于水环泵、扩散泵、喷射泵、分子泵和机械泵所采用的密封液与工作液是水、油和汞。所以在真空系统中,扩散泵、蒸气喷射泵都是主要依靠工作液蒸气进行扩散或喷流抽真空工作。因此,在泵的锅炉工作温度下,若想要工作液具备充足的蒸气压,但又因为常温条件下的油蒸气可能会在蒸发镀膜设备的真空室中弥漫,成为限制极限真空的主要问题所在,因而又想要它在常温条件下具备饱和蒸气压较低。所以,除要求蒸气压特性外,扩散泵和蒸气喷射泵对抗氧化性、热稳定性及在室温下有适中的流动性也有所要求。

对于吸气剂泵、吸气剂等材料,以溅射离子泵和升华泵为例,它们的工作金属材料主要有钼、钛、钪、铌、钇、钽等金属,这些材料均曾用作各种离子泵和吸气剂泵的工作金属。

以电子管所用吸气剂为例,一般分蒸散型、非蒸散型两种类型。蒸散型吸气剂有时也称闪烧型吸气剂或扩散型吸气剂,如锶、钙、钡、镁等材料,其中,钡是最为常用的一种真空吸气剂材料。非蒸散型吸气剂有时也称体积型吸气剂或涂层型吸气剂,如:钍、钛、锆等材料,其中,锆是作为一种常用吸气剂的主要物质。近年来,国内外发展的非蒸散型的锆铝、蒸散型掺氮吸气剂、锆石墨体吸气剂等真空吸气剂,均有良好的吸气效果。