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低温镀膜真空室抽真空有哪些难题-广东振华真空镀膜设备

造成低温镀膜真空室抽真空的困难有下面这些特殊的因素:

1、存在油蒸气返流的影响。凡是采用机械泵和扩散泵抽气的真空系统,都存在着油蒸气的返流污染。

2、吸附剂再活化困难。吸附剂在装入真空室前,一般要经过加热干燥处理或低真空加热干燥处理使之初步活化。

3、水蒸气不易抽出。材料放气时,首先放出表面吸附的气体。这些气体和吸附剂脱附的气体主要成分都是水蒸气。水蒸气的吸附热高,碰撞在材料表面上的平均滞留时间长,不容易脱附。

4、抽气时加热效率低。多层绝热在真空状态下具有良好的绝热性能。如果在抽气过程中对容器进行加热除气,会导致绝热材料和吸附剂升温困难,温度不均匀分布,而造成加热效率很低。

5、允许放气量小。在单独使用低温吸附剂的情况下,通常要求的允许放气率为10⁻²Pa·L/s~10⁻⁷Pa·L/s。它相当于相同容积的动态超高真空系统的允许放气量。

6、除气温度低。真空室中如镀铝涤纶薄膜和尼龙网等常用的绝热材料、如环氧玻璃钢和塑料等支撑用的隔热材料、如真空橡皮等密封材料,它们一般允许在50°C~150°C的工作温度,致使真空容器在抽气中不可能再升高除气温度。

7、流导小。真空室的流导受限于绝热层间隙和抽气嘴的流导。

8、吸附剂脱附的气体。有些绝热材料如玻璃纤维布和镀铝涤纶薄膜会造成很大的放气量。

9、气体负荷大。抽气时,容器内的气体负荷来源于容器壁、支撑、绝热材料和吸附剂的放气,以及容器的漏气。当漏气量被限制在允许范围时,气体负荷主要来源于绝热材料的放气,

显然,上述问题造成低温镀膜真空室抽气非常困难,成为真空获得领域中特殊的很长时抽气时间的排气问题。