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镀膜机真空室有哪些吸气措施-广东振华真空镀膜设备

在保证镀膜机真空室真空寿命的条件下,增加吸气手段,吸气能力的提高是一项增大允许放气量的主要技术措施。目前,行业多采用的吸气方法是:

镀膜机真空室

1、填炭纸。

2、利用低温下可凝性气体的吸附,如充二氧化碳。

3、金属的室温吸附剂,如钯。

4、固体的低温吸附剂(如分子筛、活性炭、硅胶等)。

这四种吸气方法的吸气原理、作用效果不同,在应用中如果使用正确,搭配合理,就能取得最好的效果。

譬如在200L液氮容器中,除了使用有效的活性炭和活化工艺并结合采用新抽气工艺之外,还在抽气结束时采用充入二氧化碳气体的新工艺,结果一台镀膜机真空室只用扩散泵抽气12h,使用10个月后,镀膜机真空室真空度仍为9×10⁻³Pa,日蒸发率没有增加。另一台仅仅采用机械泵抽气12h,使用10个月后,真空度仍为1.2X10⁻²Pa,镀膜机真空室日蒸发量变化也不大。

因此多层绝热的中小型镀膜机真空室在使用低温吸附剂的同时,采用新工艺抽气并增加使用室温吸附剂、填炭纸或抽气后充入二氧化碳气体等方法之后,抽气时间完全可以缩短在24小时之内,而且能够实现只用机械泵不用扩散泵抽气就能满足镀膜机真空室长寿命的要求。