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真空镀膜设备采用扩散泵抽气有什么优点-广东振华真空镀膜设备

真空镀膜设备采用扩散泵抽气的优点在于该泵型对惰性气体有较好的抽气作用。有相关实验测定,扩散泵即便在非常低的压力下(至少到10⁻¹³Pa的压力环境),对镀膜机真空室内的氮气其抽速仍然能够维持稳定,从而证明了以扩散泵来对付惰性气体无疑是有效的。

扩散泵

因此,尽管真空镀膜设备采用扩散泵是有油的,但是,在真空领域仍有许多机构的极高真空系统仍然用它作为系统的主泵。通过相关文献报导可知,在压力为10⁻¹²Pa以下的真空系统,几乎都采用了扩散泵这一主力成员。

但是,扩散泵由于具有返流作用,其反流作用引起的油的污染,导致它的应用受到了限制。对于扩散泵返流作用的解决方法此前已有相关介绍。

此外,扩散泵系统极限压力的另一个影响因素是氢的压缩比。若真空镀膜设备所用扩散泵采用无油液体,则使用扩散泵是获得极高真空的非常理想的抽气手段之一。