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真空镀膜设备装设障板和液氮冷阱有什么作用-广东振华真空镀膜设备

首先是真空镀膜设备装设障板的效果。相关实验在相同起始条件和运转时间下,由氟里昂障板制冷时的剩余离子峰值计算的障板对不同剩余峰的降低效果。障板制冷时进出口温度分别为-9.5°C和-4.5°C。制冷和不制冷时总压力分别为1X10⁻⁵Pa和8X10⁻⁴Pa。实验结果表明:氟里昂障板阻挡水蒸气和泵液返流的效果大于90%,对重质量数的返流峰的降低效果较好。

真空镀膜设备

然后是真空镀膜设备装设液氮冷阱的效果。通过系统经160°C烘烤6h后、真空浸泡14h、氟里昂障板和扩散泵同时启动、冷阱注入液氮2h、总压为1X10⁻⁷Pa下的质谱图可以得出。简单质谱分析计算主要剩余气体除氢(4.6X10⁻⁸Pa)、水(1.66X10⁻⁸Pa)、甲烷(3.09X10⁻⁹Pa)、氮和一氧化碳(2.22X10⁻⁹Pa)外,泵液返流仍较严重(1.34X10⁻⁸Pa)。通过阱冷冻后m/e=197峰值随时间的变化(10⁻⁷Pa时阱注入液氮),再由阱注入液氮,经前后的质谱峰值比较表明:液氮阱降低返流的效果达99%以上。