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蒸发镀膜机有哪些特别的蒸发源-广东振华真空镀膜设备

在真空蒸镀合金和化合物时,存在着蒸发材料将在高温下分解和具有不同饱和蒸气压的组分将以不同速度蒸发的问题,因而沉积得到的薄膜成分一般不同于蒸发材料的成分。本文将介绍蒸发镀膜机的一些较为先进的蒸发源。

高频感应加热蒸发源是真空镀膜技术中广泛应用的另一种蒸发源。这种加热蒸发的方式的特点是热效率高、蒸发量大,设备简单。所以已得到了工业性的应用。它的主要问题是必须采用抗热震性好、高温化学性能稳定的氮化硼坩埚,工业用的高频感应加热蒸发器的实例:在大型的真空蒸镀装置中,例如,在钢带上连续真空镀铝的大型设备中,高频感应加热蒸镀工艺取得了令人满意的效果。

采用激光束蒸发源的蒸镀工艺是一种理想的薄膜制备方法。这是由于可以在真空室之外安装激光器,这样不但使真空室内部的空间布置简化、加热源的放气减少,而且还完全避免蒸发器对被镀材料的污染现象,达到了镀制膜层更加纯洁的目的。

此外,激光加热蒸发镀膜机可以通过该工艺达到极高的温度,利用激光束加热能进行某些合金或化合物的“闪光蒸发”。这保证了膜的成分纯洁,还防止了膜的分馏或分解等。但是由于大功率连线式激光器的制作成本相对较高,所以这一类蒸镀设备的应用范围有一定的限制,目前看来还无法在工业中得到广泛投入应用。