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如何解释溅射镀膜机的阴极溅射现象-广东振华真空镀膜设备

为了解释溅射镀膜机的阴极溅射现象,提出了一些理论。一种理论是Hippel提出的,它认为溅射是由于轰击离子在材料长面产生局部的高温区,使靶材粒子产生热蒸发,甚至在阴极温度很低时也是如此。

根据估计,溅射镀膜机的溅射速率是靶材升华热与轰击离子能量的函数,由于这样估计和实测的结果相一致,所以该理论在提出后得到了广泛的承认。后来,由Stack等人提出了另一种足充分的理论,它认为溅射现象是由轰击离子与靶材原子之间动量的传递过程而产生的。在最简单的情况下,可以是动量直接从轰击离子传递给被溅射的粒子。当然这种传递类型对于全部溅射量的贡献只占百分之几。大量的离子进入到阴极表层里一定的深度,而且它们的动量接连从一个原子传递给另一个原子(有点类似于碰撞的弹性球)。

目前已证实,在某些晶体学方向上出现所谓的“集中碰撞链区”,它可以在原子的长链上传递动量,迄今为止收集到的大量数据,其中包括溅射镀膜机的溅射系数的数据以及单晶靶材选出原子的角度分布的数据,都证实了这一理论的可靠性。