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PVD真空镀膜在太阳能电池的应用-广东振华真空镀膜设备

在新兴太阳能光伏行业中,PVD真空镀膜主要应用于太阳能电池中。根据结构,可将太阳能电池划分为二大族群,分别是结晶硅和薄膜太阳能电池。

PVD真空镀膜

目前,PVD真空镀膜工艺主要是在第二大族群——薄膜太阳能电池当中使用,主要PVD镀膜材料为溅射靶材。其中,较为常用的溅射靶材包括钼靶、铜靶、铝靶、铬靶以及ITO靶、AZO 靶(氧化铝锌,即Aluminum Zinc Oxide)等,镀膜靶材纯度要求一般在 99.99%以上,其中,铜靶和铝靶用于导电层薄膜,AZO靶和ITO靶用于透明导电层薄膜,铬靶和钼靶用于阻挡层薄膜。

在太阳能电池产业中,结晶硅技术长期占据主流地位,由于结晶硅技术成本较高,业内一直通过电池转换效率的提升、硅片切割厚度的降低等技术来使成本降低;与此同时,薄膜太阳能电池由于弱光性好(即在阴天发电能力强)、生产成本低、容易集成等优势,薄膜太阳能电池逐渐受到行业关注并增长迅速,在未来,薄膜太阳能电池的市场占有率将逐步提高,对PVD真空镀膜的发展也会起到积极的推动作用。