
19
2023-05
信息显示薄膜与离子镀膜技术
在信息显示器中,除了 TFT-LCD 与 OLED 中的薄膜外,还包括显示面板中的配线电极薄膜及透明像素电极薄膜等。镀膜工艺是 TFT-LCD 与 OLED 显示器的核心工艺,随着信息显示技术的不断进步,信息显示领域的薄膜的性能要求越来越严格,需要精确控制均匀性、厚度、表面粗糙度、电阻率及介电常数等参数。
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19
2023-05
真空蒸发镀膜层的生长规律
蒸发镀膜时,膜层的形核、长大规律是各种离子镀膜技术的基础。
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12
2023-05
增强型辉光放电离子镀膜技术的共同特点
由于增设了提高离化率的装置,提高了放电电流密度,偏压降低为 0.5~1kV.
减少了高能离子的过度轰击造成的反溅射和对工件表面的损伤效应。
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09
2023-05
柱状磁控溅射靶的优点
1) 比平面靶的靶材利用率高。在镀膜过程中,无论是旋磁型还是旋靶管型柱状磁控溅射靶,靶管表面各个部位连续经过永磁体前面产生的溅射区接受阴极溅射,靶材可以受到均匀的溅射刻蚀,靶材利用率高。靶材利用率高达80%~90%。
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