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真空镀膜控制装置的发展现状-广东振华真空镀膜设备

真空镀膜设备就像此前真空系统的概论所说,就是指在真空环境条件下工作完成镀膜工艺流程的真空镀膜设备。因为我国目前真空应用的范围已经算是较小的了,所以真空类型的设备的名称繁多。而真空镀膜是有关科学教育实验中和中国工业生产过程起重要影响作用的一项技术。其控制系统一般是根据一定的需求控制真空镀膜设备中的真空泵的启停,以及其真空阀门的开关,或是使真空镀膜设备中的真空室的压力按预先设置的量值数据进行改变。这样的的真空室压力调节作用过程和操作管理过程就是真空镀膜控制装置。系统控制的主体可以是人,也可以是替代人之用的自动控制系统。

一开始的真空镀膜设备采用手动控制系统,但随着人类科学水平的不断提升,手动控制逐渐发展开发出了自动控制系统。之所以称之为自动控制系统,是因为它是一种模拟手动操作的控制系统,实现一种不用人为直接操作设备的情况下,调动镀膜设备自动根据预定程序运行,维持真空镀膜处理之时的稳定性,使镀膜效率和镀膜质量进一步提高,减少了意外发生,使劳动强度更轻松。

对于真空工程及一些大型真空设备的控制系统中,我们除了对真空阀门、真空泵等装置要求做到以上所说的预设程序自动运行以及真空室的压力能预设程序自动自动调节之外,还对真空工艺生产流程的自动切换,工作电流、束流、电压、温度、膜厚、张力等参数的信息采集、处理、显示及控制等也有要求。这种大型真空设备或工程,是不单单增加了一个需要检测的参数的。由于这些参数有一些发生波动变化是很快的,加上其本身允许波动的数值范围很小,所以对于这种情况,若不用自动管理控制系统的话,真空设备就难以真正有效运行,会导致其真空工艺也无法及时地完成。

因此,在真空镀膜设备的设计时时,要多一分关注真空镀膜设备的自动控制系统,提高真空镀膜设备的自动化水平。自上世纪80年代以来,计算机程序控制在真空镀膜控制装置中得到了广泛的应用,使真空镀膜设备的自动化水平也提高了档次。近年来的计算机综合集成控制系统的发展又前进了一步,为真空镀膜的自动化奠定了基础。