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真空电阻蒸发镀膜设备蒸发源有哪些类型?-广东振华真空镀膜设备

真空电阻蒸发镀膜设备顾名思义就是采用电阻式加热蒸发源作为热源的蒸镀机,而电阻加热蒸发源其实就是一个电阻型加热器,它是利用通电的发热件产生焦耳热来获得熔融膜材所需高温,最终达到蒸发的目的。

1、铝蒸镀坩埚炉

在蒸镀技术中,铝材的蒸镀有一定的重要性。特别是在电子工业,一些光学元件或是轻工业中,铝膜蒸镀的应用是很常见的。

(1)石墨坩埚蒸发源

目前蒸发镀铝膜层设备中,还是以电阻加热蒸发的方式为主。所使用的坩埚材料通常是诸如钨、钼、钽和石墨之类的难熔金属,前面的在间歇式蒸镀中使用,石墨则多用于连续式蒸发镀膜设备当中。

(2)氮化硼合成导电陶瓷蒸发源

氮化硼合成导电陶瓷蒸发源作为新型蒸发源,是一种比石墨材料更理想的加热器材料。该蒸发源采用耐腐蚀且具备优异的耐热性的氧化物及硼化物作为主要材料,由涂敷与热压等工艺制成的具有导电性的陶瓷材料。

2、丝状电阻源与舟状电阻源

我国应用最广泛的一处蒸发源是用难熔材料金属制成的丝状电阻源或舟状电阻源。目前,用于电阻加热热源的材料以Mo、Ta、Nb、W等高熔点金属居多,还有一些镍、铁、镍铬合金等,其中最常用的是钨丝和钼片。其金属丝、线圈、锥形筐可以单股线的,也可以是多股线的。

真空电阻蒸发镀膜设备由于采用这种热源成本低、操作方便、结构简单、材料容易获得等特点,因此,已被广泛用在真空镀膜的各个领域当中。