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真空设备的密封的设计有哪些要求-广东振华真空镀膜设备

在真空镀膜中,系统的密封性能往往是该真空设备质量优劣的一项重要指标。真空设备的密封设计主要包括了密封槽、密封圈以及配件密封面精度与装配要求。

1、密封槽的设计

真空橡胶密封槽有各种形式,对于密封槽的截面面积的设计,要求比橡胶密封圈的截面面积稍大一些,密封橡胶受压缩过后充填因数不小于1,橡胶通常具有15%-30%的压缩量。

(1)密封槽深度。设计橡胶密封槽的深度,要综合橡胶密封圈特点,橡胶圈受力会改变形状,而不会改变体积,就是不可压缩的材料弹性能力,这种能力如果超过了就会出现塑性变形,还可能损坏表皮,所以有必要确保橡胶密封圈的适宜压缩参数。因为压缩量太小会造成密封不能长期稳定且可靠,压缩量太大会使橡胶圈的使用寿命受到影响。

(2)密封槽宽度。密封槽设计中另一重要参数是密封槽宽度。因为在密封槽里安装的橡胶圈在受压前后改变形状而不改变体积,因此,设计密封槽时要注意留有密封圈的可变形空间。在密封状态下受压,密封槽不可能被密封圈完全允满,在不同的温度与介质下,橡胶圈可能会膨胀,密封槽容积需要有对应余量留存。此外,在动密封情况之下,要求O形密封圈要有轻微的滚动产生,因而要求设计矩形密封槽的容积要大于密封圈的体积约15%。

2、密封槽的选用

O形密封圈适用的密封槽有以下几种类型:

(1)矩形槽:最普遍的槽,适用方的和圆的密封件,缺点是密封件 安装时易跑出槽;

(2)三角形槽:可用于小尺寸处;

(3)平面形槽:一个密封力大,另一个密封力小;

(4)燕尾槽、梯形槽:用得最多的槽,密封件不会跑出槽,O形圈直径小于 槽径也好用,安装方便;

(5)半圆槽:用于旋转运动;

(6)圆桶形槽:用于转动轴或直径运动轴。

3、配件密封面精度及装配要求

为了真空密封得到可靠的保障,设计真空设备的密封时要求顾及配件密封面精度及装配等。由于密封设备的各密封面的表面粗糙度会影响密封性能和动密封产生的焦耳热等,所以需要设计主密封面粗糙度优于Rₐ1.6, 次密封面粗糙度优于Rₐ3.2。

真空设备在转轴和密封槽的端角处设有一个15°-30°的倒角,可以解决尖锐的棱角在装配时将密封圈刮伤的问题,因为一旦划伤密封圈,在这个划伤处将存在漏气的隐患,而且密封圈一旦被损坏,它在受力后会出现“伤势”的扩大而导致密封失效。所以为了避免密封圈损坏,在安装密封圈时加上真空润滑油,特别是在内孔进入传动轴前,要将润滑油涂到轴、密封圈和内孔表面,这样不仅避免了密封圈损坏,更是改善了密封性能、使安装更加方便。