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真空镀膜设备的真空指标如何测定-广东振华真空镀膜设备

关于真空镀膜设备的技术参数的指标繁多,对于沉积源型式、尺寸、数量及最大耗电功率,工件架尺寸及转动方式、工件烘烤方式及烘烤温度以及一些离子轰子,工件偏压功率、膜厚监控方式及控制精度、设备控制方式、设备最大耗电量等指标均可根据设计要求而进行设计。然而,真空指标的测定则主要包括两方面,分别是抽气时间以及极限压力的测定。接下来分析这两大真空指标的测定条件及方法:

一、镀膜室极限压力的测定

1、试验条件:

(1)镀膜室内没有安放基材(空载状态);

(2)用来测量的真空计应和设备本身是配套的,且为有效期之内;

(3)在抽气过程中,对镀膜室用设备配套的加热轰击装置进行除气;

(4)真空测量规管应装于镀膜室壁上或最靠近镀膜室的管道上;

(5)对具有中搁板、上卷绕室和镀膜室的卷绕镀膜设备,应在两室同时抽气时对镀膜室的压力进行测试。

2、测试方法:

连续对镀膜室抽气24h这一时间段之间,测定出过程中的压力最低值,则定为该设备的极限压力。

如果压力变化值在0.5h内没有超过5%的波动,则取最高测量表读数值作为极限压力值。

二、镀膜室抽气时间的测定

1、试验条件:

与上述极限压力测定的试验条件的(1)~(4)相同。

2、测试方法:

在连续抽气的前提之下,待至镀膜室内达到极限压力,再将镀膜室打开15min,然后将镀膜室关闭,再次将镀膜室抽气至规定的压力标准,此间这段所需的时间,就是该设备的抽气时间。

真空镀膜设备可镀制具有卓越性能的薄膜,具有装饰、耐磨等功能,比如DLC(类金刚石)硬质膜、耐摩擦膜、装饰膜、防指纹膜、功能膜层等,可帮助我们的客户的产品在各自的行业领域脱颖而出。该设备的应用行业是比较广泛的,包括:汽车、照明、航空、太阳能、医疗、工具等工业或消费品。