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真空装置中的放电检漏是什么原理-广东振华真空镀膜设备

真空装置中,利用放电颜色的改变进行检漏的方法有放电管法与高频火花检漏仪两种。因为放电管与高频火花检漏器在玻璃容器内激发放电的原理类似,所以它与高频火花检漏仪一样,都可根据放电的颜色改变进行真空检漏。

1、利用放电颜色的改变进行检漏其中一种方法利用高频火花真空测定器,又叫高频火花检漏仪。它的作用是测定玻璃真空容器的真空度、进行容器的检漏,其灵敏度为1Pa•L/s、工作压力范围为10kPa~0.5Pa。当检漏仪的开关接通时,就会产生高频火花在放电簧处。在放电簧接近玻璃的真空容器的情况下,就会激起高频放电于玻璃容器内,若放电簧沿着玻璃容器的表面移动,在它的尖端移动至距表面1cm左右时,如果所测对象不存在漏孔,则会形成散开的杂乱火花在玻璃的表面,反之则形成细长、明亮的火花束,火花束的末端指向,就是漏孔的位置。

在使用高频火花真空测定器要注意避免放电簧长时间停在一处,防止打穿玻璃壁造成漏孔,且需避免放电簧接近金属零部件,避免发生触电。

2、利用放电颜色的改变进行检漏的另一种方法是放电管法。它利用示漏气体通过漏孔进入预先抽空好了的容器,会改变放电管内放电光柱的的颜色来对漏孔的存在进行判断。为了方便放电光柱的颜色的观察,放电管的管壳材质需采用玻璃泡壳。

对于用放电管指示前级真空的真空系统来说,用此方法进行检漏是很方便的。它适用的压力范围为1Pa~10²Pa,在此范围内空气的放电颜色为玫瑰红色。放电管法的灵敏度是1Pa•L/s。

高频火花真空测定器不可直接用于真空装置中的金属管路和容器的漏孔检测。因为在金属表面高频火花会短路,不能激发真空容器内部放电。此时应该把段玻璃管利用真空胶管接到金属真空系统上,再用高频火花真空测定器激起放电在玻璃管内,然后施以示漏物质于真空系统中可能有漏孔的位置,观察玻璃管内放电颜色是否改变,从而对漏孔是否存在及其存在位置进行判断。