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真空镀膜机为什么要做清洁处理-广东振华真空镀膜设备

各种真空生产工艺中,如真空镀膜工艺、真空焊接工艺、电真空工艺等,都十分讲究设备的真空卫生。在电真空工艺中,对于准备置于高真空状态下的零部件,都要先进行清洁处理,否则各种真空污染物将变成一大气体来源,将延长真空装置的抽真空时长,对高真空的获得造成一定的困难。而真空镀膜机则考虑到膜层的黏附性,因而设备的清洁处理是非常重要的。

在电真空工艺中,通过各种清洁方法,可使设备的黏附的油脂、灰尘、表面附着物、金属细屑以及多余氧化膜、石墨膜等污染物彻底除掉,以此提高电真空机械寿命与机械的可靠性。

而在真空镀膜工艺技术(包括玻璃镀膜工艺技术)中,基片表面的清洁处理更是受到重视。在大气中暴露的基片表面大多会受到污染。就污染物的物理状态来看,这些表面污染可以是液体、气体或固体,可以散粒、膜等形式存在。就污染物的化学特性来看,这些表面污染可以是无机物或有机物,可处于共价态或离子态。

真空镀膜有多种污染来源,而其表面自身形成过程往往是最初的一个污染。吸附现象、干燥和浸析过程、化学反应、机械处理以及扩散和离析过程都会增加各种表面污染物。在镀膜之前的镀件表面必须是清洁的,否则镀的膜不会有很好的粘附性。在真空扩散焊接工艺中也是这个道理,焊接接头的强度与表面清洁处理关系很大。

在高真空镀膜机中,其清洁处理工作更为重要。拥有良好的清洁处理效果,可以使设备零部件材料的放气率降低几个数量级。例如不锈钢,它在大气中长期暴露后,若不做任何处理,抽气1小时后约有2.7×10⁻¹Pa·L/(s•m²)的出气率;而做好清除油污工作,然后再抽气4小时,可降至1.3×10⁻³Pa•L/(s•m²)的出气率;在250°C高温状态下烘烤15小时,进一步降到1.3×10⁻⁶Pa•L/(s•m²)的出气率。拥有好的真空清洁处理工艺,可使设备的极限真空有效提高。