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真空镀膜对环境有哪些要求-广东振华真空镀膜设备

真空镀膜对洁净环境的要求通常有:对处于真空环境下的零件或表面的要求,和所处车间或实验室的温度、湿度以及空气中的微粒等周围环境的要求这两方面。这两方面的要求相互之间有着密切的联系。使用环境的条件优劣将对镀膜设备的正常使用产生直接的影响;而镀膜机真空室或装入设备里面的零件是否清洁,也会对设备的性能产生直接影响。

若所处环境的空气中含大量水蒸气、灰尘等污染,在镀膜机真空室没有做过真空清洁的条件下,直接通过油封机械泵进行设备的抽真空工作,那是很难达到预期的真空度的。因为油封式机械泵并不适用于对真空油会起化学反应、对金属具腐蚀性的以及含颗粒尘埃的气体抽除环境下工作。

这是由于水蒸气属于一种可凝性的气体,在真空泵大量对可凝性气体进行抽除工作时,将会对泵油产生更加严重的污染,降低了真空泵的极限真空,对真空泵的抽气性能造成损害。

对于含颗粒尘埃的气体,在工业环境中的粉尘则可分为粉尘、烟雾体以及粉状体。

1、粉尘

任何物质,无论是固体还是液体状态,只要是呈颗粒状态的,均可称之为“尘粒”。空气清洁度的标准可通过尘粒直径的大小进行确定,从而将该洁净室的等级制定出来,这项指标不仅适用于有洁净要求的工业生产部门,同样还适用于真空镀膜对洁净环境的要求。

2、烟雾体

烟雾体指的是以固态或液态存在的微小颗粒,且呈悬浮状态而存在于气体中的一种物质体系。

3、粉状体

微小的固体颗粒的集合,称之为“粉末”,能够一个一个计数的微小物质,称之为“颗粒”。而粉状体则是粉末或固体颗粒的集合或分散状态的物质。