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真空镀膜工艺对应用环境的要求有哪些-广东振华真空镀膜设备

真空镀膜工艺对应用环境有着严谨的要求,对于常规的真空工艺来说,它对真空卫生主要是要求:在真空中的设备的零件或表面无积存的污染源、真空室表面光滑且无松软组织和气孔和死空间、真空设备内焊缝不会影响真空、高真空设备不得用机油作润滑剂、无油超高真空系统应避免因油蒸气而对工作介质的纯度、工作性能或表面特性造成影响、超高真空金属系统常以1Cr18Ni9Ti作为结构材料、置放真空镀膜设备的实验室或车间应保持清洁卫生等。

真空镀膜工艺过程中,镀件的表面清洁处理这一环节很重要。基本上所有的基片在装进镀膜真空室之前,都要先通过镀前清洁处理环节,做到工件的去油、去污和脱水。

镀件表面污染的主要来源有:加工、传输、包装等流程会粘附粉尘、汗渍、油脂、抛光膏、机油以及润滑油等物质;设备零件表面吸附、吸收的气体;在潮湿空气中的镀膜机的零件表面生成的氧化膜。对于这些来源的污染,大多可通过去油或化学清洗方法去掉污染物。

不能在大气环境中存放清洗处理过的清洁工件。为减小灰尘的沾污,清洁工件的贮存,常用保洁柜或封闭容器。玻璃基片用刚氧化的铝容器来贮存,可减小碳氢化合物蒸气的吸附。因为刚氧化的铝容器会优先对碳氢化合物起吸附作用。对水蒸气敏感或高度不稳定的表面,通常是在真空干燥箱里面贮存。

真空镀膜工艺对环境的基本要求主要有:真空室内的高度清洁、置于清洁度高的工作间、镀膜室内的灰尘等。部分地区空气湿度较大,所以,在镀前不仅要清洗基片、真空室内的各部件,还需做烘烤除气工作。此外,为防止真空室内带入油,还需注意施加油扩散泵的返油、挡油等措施。