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真空洁净环境有哪些标准-广东振华真空镀膜设备

真空洁净环境的标准,主要涉及到粉尘、粉状体以及烟雾体这三方面的指数。 从狭义来定义“粉尘”,其实就是工业用粉尘。无论是固态还是液态物质,只要是呈颗粒状态的,都定义为粉尘;是呈悬浮状态的液态或固态微小颗粒,且存在于气体中的物质体系则定义为“烟雾体”;固体颗粒或粉末的集合或分散状态的物质则定义为“粉状体”。

真空镀膜机洁净车间

1、真空洁净度(颗粒直径标准)

主要粉尘体、烟雾体:煤粉(400~10µm)、铸造厂的悬浮粉尘水泥粉(200~1µm)、飞扬灰烬(150~1µm)、矿坑内煤粉尘(80~3µm)、颜料类(10µm)、金属精炼(8~1µm)、NH₄Cl(100~0.1µm)、碱(2~0.1µm)、ZnO(0.3~0.03µm)、油烟(1~0.03µm)、树脂烟(1~0.01µm)、烟草烟(0.15~0.01µm)、炭烟(0.2~0.01µm)、硫酸烟(10~1µm)、三氧化硫烟(3~0.5µm)、雾(40~1µm)、露(500~40µm)、雨滴(5000~500µm)、静止大气中的粉尘(1~0.01µm)。

2、粒度测定法

用显微镜直接测定、气相沉积测定法、利用冲击原理的测定法、利用光学原理的测定法、用光电扫描的测定法以及其它测定法。

3、大气中和低真空中烟雾体颗粒的运动

烟雾体颗粒是以气体为载体,因而一般来说重力下沉性强,颗粒的稳定性不好。但是若颗粒变小,重力下沉性就会减弱,布朗运动使颗粒的扩散显著。

100级:颗粒直径在0.5µm以上,颗粒浓度为3.5×10³m⁻³。

10000级:颗粒直径在0.5µm以上,颗粒浓度为350×10³m⁻³;颗粒直径在5.0µm以上,颗粒浓度为2.3×10³m⁻³。

100000级:颗粒直径在0.5µm以上,颗粒浓度为350×10³m⁻³;颗粒直径在5.0µm以上,颗粒浓度为25×10³m⁻³。