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真空镀膜机部件的封接有哪些特点-广东振华真空镀膜设备

真空镀膜机的真空室、真空炉体、泵体、真空规的各种加热电极、引线通常需满足:真空密封、耐高温(真空系统烘烤、电极加热引线发热等)、较好的电绝缘性能。而金属-陶瓷封接件能够满足这些要求。陶瓷件工作温度可达700°C-1000°C以上,并在高温下有良好的气密性和电绝缘性能。

本文主要介绍镀膜设备零部件的金属-陶瓷封接结构基本形式及特点

一、平封

平封常用于陶瓷环、片的端面与金属件的平面之间的封接。

1、单面封接

单面封接形式具有较大的封接应力,机械强度较低、热冲击性不好,要求用薄壁金属件或陶瓷与金属要有接近的线膨胀系数。

2、夹封

可减少封接应力,可封接失配较大的陶瓷与金属件。

二、套封

套封常用于金属圆筒与陶瓷环或片相互套起来封接。特点是强度高,耐热性好。金属和瓷件加工精度要求高,瓷件内(或外)圆面需研磨加工。

1、外套封

瓷件承受压力状态,可靠性高,耐热冲击性能好,机械强度高,能封接失配较大的材料

2、内套封

封接应力大,多数情况下陶瓷受拉应力,耐热冲击性差,强度低。宜选用线膨胀系数比陶瓷小的或接近的金属材料封接

三、针封

针封常用于实体金属针封在陶瓷孔中。

1、直接针封

与内套封相似,封接应力大,耐热冲击性差。适于细丝(针直径<1mm、线膨胀系数小于陶瓷、或接近于陶瓷的金属材料之间的封接)。

2、过渡针封

过渡针封形式的封接有较强的可靠,与陶瓷失配较大的金属针一样可以封接。