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真空镀膜设备有几种真空系统-广东振华真空镀膜设备

真空镀膜设备的获得真空环境是靠真空系统的抽气来完成的。根据清洁度、真空度的不同需求,采用的真空系统也有所不同。一般情况下按真空区域把真空系统分为:中真空系统、低真空系统、高真空系统,超高真空系统、极高真空系统。真空镀膜设备的系统由不同的主泵、辅助泵及其它真空部件构成。

1、中、低真空系统。

中真空系统、低真空系统是以机械泵或罗茨泵加机械泵构成的,要避免油污染,还以分子筛阱加入其中,不过这在工艺师操作时,要避免机械泵中吸入分子筛固体颗粒。

2、高真空系统。

高真空系统主要由扩散泵、机械泵、冷阱、隔板和插板阀等构成,主泵也可用低温泵或涡轮分子泵。为进一步使油污染减少,可用钛升华泵、溅射离子泵、低温障板一起使用,组成一台无油的高真空泵组,其前级预抽用吸附泵。

3、超高、极高真空系统

清洁度高,是超高、极高真空系统主要标志,需用高性能的低温泵、离子泵、涡轮分子泵加上冷阱等,以此实现超高和极高真空。