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真空装置的气体热冲洗排气是什么原理-广东振华真空镀膜设备

真空装置的气体热冲洗排气的作用原理包括气体的置换和脱附作用、气体的席卷作用以及气体分子的传热作用等作用原理。本文主要介绍真空设备的气体的置换、脱附、席卷作用原理。

1、气体的置换和脱附作用

设备真空室在粗抽真空时,将夹层空间内的空气和材料表面及吸附剂解吸的部分水蒸气抽出,这时再充进气体以使空间和材料表面及吸附剂吸附的气体成分发生变化,随着充气次数的增加,空间的空气成分和材料表面及吸附剂吸附的水蒸气量越来越少,逐步变为充入气体的成分,而选择的充入气体是在材料表面吸附热小,平均滞留时间短的易脱附气体,在正式抽气时很容易被真空泵抽出。

2、气体的席卷作用

充气的真空装置的真空室在粗抽真空时,处在湍流、粘滞流和过渡流状态下运动的分子,因平均自由程短,相互碰撞频繁,能够将绝热层内不易抽出的水蒸气席卷出来,一起被真空机械泵排出。温度越高,气体分子热运动速度越快,碰撞越频繁,席卷作用越强。