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真空镀膜设备如何减少返流现象-广东振华真空镀膜设备

泵体内的气体或蒸气流返回到真空镀膜设备真空室里的现象叫做返流。在极高真空系统中,由于系统、的极限压力低,返流对极限压力的影响尤为显著。对极高真空系统来说,所有的泵都是气源。为了减少泵对真空室的返流,在泵和真空室之间常常连接一个阱以阻挡气体的返流。

真空镀膜设备

由于目前真空镀膜设备配置的泵的极限压力都不是太低。因此,极高真空系统中,阱的设计是极为重要的,设计的重点在提高阱的捕获效率。要提高阱的捕获效率,必须从两个方面着手:

1、增加气体分子和阱壁的碰撞次数,减小几何因子的值。但这使得阱的流导变、小。只能在兼顾阱的流导的情况下减小阱的几何因子;

2、增大粘着系数。主要途径是降低阱的温度和涂以吸气材料。冷冻钛升华阱就是一种深冷吸附阱。如果阱只允许两次碰撞后才能通过,则扩散泵抽气系统工作期间油的穿过引起的分压力将低于10⁻¹³pa。