始于1992年,我们专注于真空镀膜领域

新闻资讯

新闻资讯

news

销售咨询

Sales consultant

服务热线

400-900-9105

真空镀膜机使用扩散泵注意事项-广东振华真空镀膜设备

扩散泵是真空镀膜机获得高真空的主要工具之一。它们操作简单,没有运动部件,相对便宜,维护很少且容易。但即便如此,使用扩散泵也有一些需要注意的地方。下面列出真空炉用户在使用扩散泵时应该避免的12件事。

真空镀膜机使用扩散泵

1.切勿使用替代泵油。

2.如果扩散泵处于真空状态,切勿停止冷却水或打开注油塞(尤其当它温度很高的情况下)。

3.当真空炉系统内发生泄漏或持续产生的气体,导致压力比泵的进气口附近还要高2μmHg,切勿让进气阀保持打开状态。

4.切勿使用高于推荐额定功率的加热器。

5.油位低时,切勿操作扩散泵。

6.恒温装置通常会在缺少泵油或缺水的情况下为泵提供保护,但是控制电路有可能发生故障。所以,如果没有冷却水循环或没有合适的前级泵时,切勿操作扩散泵。对于大型设备,建议使用双重保护。

7.切勿撤销保安全保护装置。

8.当扩散泵温度很高时,切勿让空气进入泵内。

9.除非泵内有一定的油量,并且气体排空到压力为0.5μmHg以下,否则切勿打开泵的电源。

10.切勿用有可能与推荐泵油产生反应的蒸汽、粉末或材料,以免污染泵。

11.如果泵发生故障,切勿使用快速冷却水管,否则有害的冷凝水分会聚集到加热器末端。

12.当真空镀膜机停止运行,泵暴露在大气中时,将泵的冷却水放尽排空,否则会导致泵内产生水分凝结。