一.应用

随着智能座舱与智能驾驶的快速发展，HUD 显示系统及车载玻璃盖板对光学镀膜提出更高要求。高可见光反射率、膜层稳定性及批量一致性，已成为核心指标。磁控溅射光学镀膜工艺，正逐步成为 HUD 与高端显示玻璃的主流技术路线。

二.客户痛点

产能与装载受限：传统设备单炉装载量有限，难以匹配规模化量产需求。

膜层性能一致性要求高：HUD 对反射率、折射率及膜厚控制极为严格，工艺波动容忍度低。

多功能膜层集成难：多工序切换频繁，影响效率与良率。

三.振华真空解决方案

振华真空推出 GFM1916 磁控溅射光学镀膜设备，通过高自动化磁控溅射系统，结合离子源辅助与精准膜厚控制技术，实现 HUD 及玻璃盖板用高性能光学膜层的稳定量产，兼顾高产能、高一致性与工艺灵活性。

设备优点

• 全自动控制，操作高效稳定

全流程自动化控制，操作简单，工艺重复性好，适合连续量产。

• 高载量 · 大产能设计

圆筒式工件架结构，单炉装载量为传统电子束蒸发设备的 2 倍；支持多种工件形态，应用更灵活。

• 卓越的膜层性能

PVD + CVD 复合镀膜系统及离子源辅助技术，使膜层致密、折射率高且稳定，附着力强；支持一次性完成铝膜、介质膜及 AF 膜沉积。

• 涂层精准控制，满足 HUD 严苛标准

配备晶控监测系统，实现膜厚精确控制；SPEEDFLO 闭环与全自动控制系统显著提升 SiO₂ 沉积效率，可见光反射率稳定达到 90% 以上，满足 HUD 应用要求。