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空心阴极硬质镀膜设备的技术原理是什么-广东振华真空镀膜设备

离子镀指代于真空室中,通过被蒸发物质离化或气体放电的同时,受气体离子或蒸发物质离子轰击的影响,而使得其反应物亦或蒸发物质沉积在基材上。而空心阴极硬质镀膜设备的技术原理是空心阴极离子镀,是一种空心阴极放电沉积技术。关于空心阴极放电沉积的原理:

空心阴极放电沉积技术是利用热阴极放电生成等离子体束,阴极是空心钽管。阴极与辅助阳极相距较近,也就是引燃弧光放电的两极。而空心阴极放电沉积枪引燃方式有两种:

1、利用高频电场施加于阴极钽管道,使阴极钽管氩气电离成氩离子进而引发阴极钽管不断受氩离子轰击,直到受热升温至电子发射的最低温度标准而生成等离子电子束;

2、于辅助阳极和阴极钽管间施加大约300V的直流电压,阴极钽管依旧通入氩气,在为1Pa-10Pa氩气气压中,辅助阳极和阴极钽管出现辉光放电现象,生成的氩离子轰击不断轰击阴极钽管,直至2300K-2400K的温度,阴极钽管发射大量电子,才会从“辉光放电”改换成“弧光放电”,这时候的电压低至30V-60V,那么只要在阴阳两极间接通电源,就能生成等离子体电子束。

空心阴极硬质镀膜设备现已广泛应用于各种模具、工具、装饰等镀膜,以及一些特种镀膜膜层中。